作品包括：

Word设计说明书1份，约17000字

CAD版本图纸，共7张

摘要

三轴联动精密工作平台是激光显微镜机械系统中的载物的枢纽部件。工作平台选用多层式结构，用压电陶瓷直线电机作为驱动，是由双对称滚珠直线导轨带动两托盘在x、y两方向上微位移精密运动；以伺服电机和滚珠丝杆组合带动载物板在z轴方向上运动。精密工作平台基本工作要求是运用在医用激光显微镜的载物平台，显微镜要求被测的小直径实物能快速精确地运动到显微镜视野内。XY平面的联动实现了高精度直线插补，运动速度在2mm/s以下，最小移动速度为1um/s，其负载在2kg以下，运动有效范围在140×60mm内。Z轴向上实现竖直方向的运动，需要一定的负载和保持能力，运动范围为30mm。研究了影响工作台精度的主要原因，通过误差的分析与测量建立了误差补偿模型。最后验证证明，通过了误差补偿工作台达到了更高的定位精度，达成了平台的设计目标

关键词：精密工作台；压电陶瓷电机；分步对角线测量；误差补偿目录

摘 要    I

Abstract    II

第一章   绪论    1

1.1  研究目的和意义    1

1.2  研究目标及内容    1

1.3工作台的整体结构设计    2

1.4  课题的研究思路与方法、技术路线、试验方案及其可行性分析    2

1.4.1 运动平台的传动方案    2

1.4.2运动平台的结构方案    3

1.4.3 运动平台的通信模块    3

第二章  工作台的设计    5

2.1 工作台的机械结构设计    5

2.2驱动控制部分结构设计    8

2.2.1驱动器    8

2.2.2运动控制卡    9

2.2.3看门狗电路    12

2.2.4压电陶瓷电机    13

2．3伺服平台的建立    15

2.3.1伺服平台的运动研究    16

2.3.2平台机构优化设计    18

第三章：精密工作台的实验测试与结果分析    21

3.1误差的理论分析    21

3.2误差测量与分析    24

3.3误差补偿    24

第四章 结论    27

参考文献    28

致谢    30

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